Hóa học mới thu nhỏ vi mạch vượt qua giới hạn của mắt người

Các nhà nghiên cứu tại Johns Hopkins đã phát triển một quy trình sản xuất vi mạch mới cho phép khắc các mạch với độ chính xác chưa từng có ở quy mô 229 nanomet, tạo ra các chi tiết nhỏ hơn cả mắt người có thể nhìn thấy. Tiến bộ này tận dụng các vật liệu mới và kỹ thuật laser để tạo ra các vi mạch siêu nhỏ, nhanh hơn và tiết kiệm chi phí hơn, phù hợp cho nhiều ứng dụng rộng rãi bao gồm điện thoại thông minh và hàng không vũ trụ. Sáng kiến này giải quyết một thách thức then chốt trong ngành: tìm kiếm vật liệu và quy trình có thể chịu được bức xạ mạnh cần thiết để khắc các chi tiết nhỏ như vậy một cách kinh tế và đáng tin cậy trong sản xuất quy mô lớn. Trung tâm của đột phá này là việc sử dụng các lớp nhạy quang kim loại-hữu cơ gồm các kim loại như kẽm kết hợp với một hợp chất hữu cơ gọi là imidazol. Các lớp nhạy này có thể chịu được bức xạ cực tím vượt mức (B-EUV), điều mà các vật liệu truyền thống không thể chịu được. Nhóm nghiên cứu đã áp dụng phương pháp lắng đọng hóa học dạng lỏng (CLD) để thiết kế và thử nghiệm chính xác các tổ hợp kim loại-imidazol khác nhau, phát hiện ra rằng các kim loại khác nhau hoạt động tối ưu ở các bước sóng bức xạ khác nhau. Ví dụ, kẽm đặc biệt hiệu quả cho B